自动调压式压力控制器/压力调节器属过程控制仪表,常用于半导体工艺,气相和液相色谱仪,MOCVD过程中蒸汽压力控制,挤塑成型过程中气体压力保护控制,气密性泄露检测,高压釜/反应釜压力控制等。例如,在MOCVD或CVD工艺中,当供气压力突然发生变化时,管道或罐体内的压力也随之发生变化,这不仅会影响整条管路流量的稳定,可能会对整台设备的安全造成威胁,这时可由自动调压式压力控制器通过快速响应,高精度、稳定控制来调整管路的压力。
北京精量科技(ACCUFlow)可提供多种压力控制器的定制方案(ACU20P系列产品),确保适用于流动、密闭容器或真空等应用。ACU20P系列数字电子压力控制器/压力调节器(EPC)可装配一体式或分体式控制阀,它是一种比例式电磁控制阀,具有快速和平稳控制的特性。并有不同系列的控制阀对应特定的应用领域:常规应用使用标准的直接操控阀,高流速的应用使用先导阀,稳压和泄压的应用场景使用双阀。
ACU20PC系列流动过程压力控制器是单阀压力控制器,用于快速控制流动过程的压力,采用了直通式设计,测量范围从20Pa到20MPA(绝压和表压皆可)。此外,还提供差压变送器。该系列仪表精确度高、重复性好,分为前压控制和背压控制两种。
ACU20PC系列标配一个压电膜片式压力传感器和数字电路板,提供高精度、稳定、可靠的压力测量和控制。
ACU20PC-C系列属差压压力控制器,采用单个阀门维持其两个测量端口之间的恒定差压,其流道与差压压力传感器的两个端口被隔离开,可保持其两个测量端口之间的差压的恒定。
ACU20PCD是双阀压力控制器 适用于密闭容器,无需使用排气阀便能实现密闭或者端闭容器内的压力控制。此双阀压力控制器,集成了两个电磁阀控制密闭空间的差压,两个压力测量端口均与流道隔离,进气阀将过程气体引入腔体,保持密闭空间的压力,压力过高时,泄压阀自行打开进行泄压,快速精准地控制压力的稳定,同时也可避免气体浪费。
ACU20PCD标配压力传感器和数字电路板,提供高精度、快速稳定、可靠的压力控制,同时带有可触控显示屏,使操作更加便捷。
另外,北京精量科技(ACCUFlow)的上述压力控制器/压力调节器产品可选配多种通讯协议,主要包括RS232/485 Modbus,DeviceNet,PROFIBUS DP,FLOW-BUS、EtherCAT、FF现场总线等协议,也可按客户需求定制协议,保证与某些特定行业常用协议或进口配套设备之间的无障碍通讯。
邮箱:lihuizhi@accu-flow.com.cn
地址:北京市朝阳区望京东路8号锐创国际中心B座