质量流量控制器不仅能检测总流量，并且能在检测时自动控制总流量。客户能根据本身的所需设置总流量。一般来说，这种质量流量计仅用作流量测量或监测。该流量控制器采用毛细管传热温差热法原理检测气体质量流量（无气温和负担应对）。传感器受热桥测得的总流量讯号送至放大器调大。将调大后的流量检测电压与设置电压进行较为，并且调大差分信号调节调节阀。通过通道的闭环控制流使其相等设置的总流量。分流器取决于主通道中的总流量。与本设备配置的总流量显示仪表，具有稳压电源、数字电压表、电位计、外围设备、内部转换和三位阀控控制开关等。当所需调节总流量时，就所需这个控制器。
质量流量控制器由流量传感器、分流器、通道、流量调节阀和控制电路等部件组成，气体通过质量流量控制器时，大部分气体通过层流元件，成比例的部分气体通过流量传感器。 采用恒温差方案的热式传感器将流量信号转换为申信号，以此为基准测量当前通过MFC的气体流量大小。
优势：
1、总流量的检测和调节不因气温或负担的波动而失准。
2、检测调节的智能化。
3、确切地按量调节总流量。
4、应用范围宽。
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