关于混合气体的流量测量及控制

从科研实验到工业制造，很多涉及气体应用的行业都可能会使用混合型气体；而且在很多实际应用中，需要进行多种气体定量混合配气，将不同气体按一定的比例混合到一起，配出不同浓度、多种组分的工艺气体后才能更好的满足工艺性能的要求。

      对于单一组分的气体，选择气体质量流量计进行流量的测量和控制在众多用气行业中已经有比较成熟的应用了，尤其是气体质量流量控制器MFC在对气体流量的一体化自动控制方面具有很明显的优势，可以很好的实现跟电脑、上位机之间通过多种协议通讯，对气体流量进行精确的闭环控制。

      然而，气体质量流量计MFM及质量流量控制器MFC本身也存在几种不同的工艺原理，目前市场上主要有三种原理：热式、差压式、科里奥利（科氏）原理。

      对于混合气体，如果知道具体的组分比例，则可以选择热式或差压式；因为热式和差压式原理虽然是与气体的质量流量相关，但是也会与气体自身的其它特性相关，所以需要知道具体是什么气体或者混合气体中每种气体的大概比例，这样测量出的流量值才会相对准确。

      但在有些应用中，有时候气体源本身就是不确定的组分，例如组分较多的有机溶剂或者组分不明确的固体蒸发、挥发出的气体，由多种单一气体非定量混合后的气体，以及一些工艺流程后排出的气体等等。。。。这些混合气体因为不知道其具体组分，但是又需要精确测量流量，则可以使用科里奥利（科氏）质量流量计及质量流量控制器；因为科氏原理的质量流量计只与介质的质量相关，与其它特性无关，所以可以直接输出质量流量。

但是，科氏产品的造价相对于热式和差压式更高一些，所以在具体应用中，如果成本预算有限，对测量结果要求不是很高，又知道混合气体的主要成分，则可以考虑热式或差压式，但是如果对测量结果要求较高，或者混合气体中并没有很明显的主要组分，那么科里奥利（科氏）原理的质量流量计MFM及质量流量控制器MFC还是最合适的选择。