热式气体质量流量控制器是一种用于测量和控制气体或液体的质量流量仪表。它可以自动控制气体流量，即用户可以根据需要设定流量，MFC可以自动保持流量恒定在设定值。即使系统压力波动或环境温度变化，也不会偏离设定值。热式气体质量流量控制器以结构简单、可靠性好、 成本较低等特点得到越来越多的应用,在可以预见的未来，热式流量计在流量计中的使用比例会进一步提高。在小流量控制技术的发展进程中，其使用和发展是其重要的一部分。
故障及处理：
(一)故障:流量波动大;处理方法:检查流星计参数设置是否正确，检查传感器探头是否被污染,如果传感器可以带压插拔，可拔出传感器探头清洗。
(二)故障:流量计显示满量程;处理方法:首先应了解I艺流程是否变化，介质流量增加超出仪表测量范围;检查传感器接线是否有误，可能有一条或数条传感或激励导线松脱或短路,被加热的RTDI参照的RTD断路或短路;是否因工艺变化造成介质带液,必要时可拆下传感器探头，确认探头未被污染和带液。
(三)故障:流量计测量值偏低;处理方法:检查流量计传感器RTD电阻及加热器电阻是否正常;介质内是否的杂质固化在传感器探头上,拆下传感器探头清洗。
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