热式气体质量流量控制器的主要作用是测量和控制气体质量流量。它利用热扩散原理，通过测量两个标准RTD之间的温度差来计算气体流量。热式气体质量流量控制器与其他类型的流量控制器在原理、应用、优缺点等方面存在一些差异。
1.热式气体质量流量控制器：
热式流量计基于热扩散原理，使用两只标准级的RTD，一只用于发热，另一只用于测量流体温度。当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，通过微电子控制技术转换为测量流量信号的线性输出。这种流量计的优点是可自动化集成度高、产品精度好、稳定性和重复性优于其他类型的流量控制器。实际使用中发现，当输入的气体不同时，控制显示的数值与实际不符，原因在于气体转换系数（CF）的不同。
2.电磁流量计：
根据法拉第电磁感应定律进行流量测量。其优点是压损极小，可测流量范围大，精确度较高。但它不能测量气体、蒸汽以及纯净水的流量。
3.涡街流量计：
根据卡门涡街原理研究生产，用于测量气体、蒸汽或液体的体积流量和质量流量。其特点是压力损失小，量程范围大，精度高，不受流体密度、压力、温度、粘度等参数的影响。
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