气体或液体质量流量计MFM及质量流量控制器MFC主要涉及的三种原理

      目前市场上常用的气体质量流量计或质量流量控制器主要基于三种基础原理：1、热式原理，2、差压式原理，3、科里奥利原理。而液体则主要涉及差压式原理和科里奥利原理，热式原理较少用于液体。而常用于气体的热式原理又分为三类。简单介绍如下：

      1、热式原理又主要分为毛细管热式，插入式热式，以及微电子（MEMS流量芯片）热式三种，虽然这三种热式的结构不同，但是原理都是用传感器感知气体带走热量多少换算出气体的质量流量。 

         在这三种热式质量流量计中，以毛细管热式技术较常用，工况适应性较强，很多大的国际品牌均以此原理为主，例如bronkhorst布朗克斯特，horiba等，还有很多国产品牌也是毛细管热式原理。

      2、压差式，原理是利用泊肃叶定律来进行补偿计算，通过测量气体或液体经过某段管道内前后的压力差，计算得出气体的体积流量，然后再换算到标准工况下流量。主要是以美国的Alicat艾里卡特等品牌为代表。（这里的压差式指的主要是用于小管径的小流量的应用，不包括用于大管径的孔板类差压流量计）。这种压差式原理既适用于气体也适用于液体，但是这种原理的耐压性能比热式的要差一些，所以一般压力较高的场景，不建议使用压差式原理。

       3、科里奥利原理质量流量计，其原理是当流体流经传感器回路时，由于科里奥利力引起可变相移，这种位移与流体的质量成正比；实际上，科里奥利质量流量计给出的流量数据是纯粹的质量流量，有较高的精确度，在实际应用中更多被用于各种液体流量的测量与控制，或者不知道具体组分的混合气体，以及超高压气体，或气液混合的流体。        实际上任何产品原理只是使其具备某些优异性能的一部分因素，而一台气体质量流量计所具备的性能优劣以及所能适应的场景，还需要从硬件技术、软件技术、制造经验等多方面考虑；如过只是应用了很好的原理，但是其它技术配合不够理想，那么产品性能可能还不如用传统原理做出的产品。

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