大部分的质量流量计,流量控制器的耐压程度在3Mpa或10Mpa左右,但是在一些应用中需要更高的压力,例如一些高压缩气体,高反应釜。。。经过我们多年的经验及开发测试,目前,气体质量流量计、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐压性能。具体参数如下:
量程范围:2SCCM~100SLM
测控范围:控制器阀控范围50:1(流量计量程比100:1)
准确度: ±0.5%F.S(满量程)
线性: ±0.25%F.S
重复精度: ±0.2%F.S
响应时间: <0.2s <0.1s
温度系数: ±0.025%F.S/℃
工作温度: 0~50℃
预热时间: 30S可用,5Min达到最佳状态
工作压力: 工作压差:0.1~0.5Mpa(高压差可定制) 工作压降:<0.01Mpa
最大耐压: 20MPa~60Mpa
漏率:1 x 10 Pa m3/S
底座材质:不锈钢
接头: φ8,φ10,φ12,卡套或法兰安装
密封材质: 氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶,金属密封
外壳防护等级: IP40
安装位置: 水平安装
电气连接: DB9孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插
显示状态: 带液晶显示、不带液晶显示
数字量: RS232/485,MODBUS协议,PROFIBUS协议
模拟量: 0~5V、4-20mA、1~5V
供电: 24VDC、±15VDC
邮箱:lihuizhi@accu-flow.com.cn
地址:北京市朝阳区望京东路8号锐创国际中心B座