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是专为现场实时显示压力值并控制的智能化仪表;工业级产品设计,高品质压力传感器芯片和电子元器件;具有抗干扰,操作简单等特点。
一、它的技术特点:
1、动态适时控制压力,与传统压力控制器、稳压器相比,此系列智能数字压力控制器可自动控制气体流量,精准控制、保持固定压力值,不存在继电器控制式的响应区间。
2、控制精度比传统的机械式开关高,无噪音;
3、耐震、抗干扰强、响应快,性能稳定。
二、技术原理:
压力传感器是处于硅芯片表面的压敏电阻桥。该芯片从其背面钻出,给芯片内部形成压力隔膜,其厚度决定压力范围。
当压力作用于芯片时,压膜弯曲,电阻桥的电阻值与压力成比例地变化。测量元件通过超薄灵敏的不锈钢隔膜与外部压力隔开,隔膜和测量元件之间的密封腔充满了油。
三、相关应用:
应用范围较广泛,例如,半导体工艺、气相和液相色谱仪,MOCVD过程中蒸汽压力控制,挤塑成型过程中气体压力保护控制,高压釜、反应釜,气密检漏装置等。
目前,MKS,Horiba,Alicat,Bronkhorst等进口品牌有此类产品,我司在国产化此类压力控制方面已经积累了大量的实用经验,产品性能基本可以与进口产品媲美。