托尔级压力控制器为直通式设计,测量范围从100Pa到20MPA(绝压和表压皆可)。该仪表精确度高、重复性好,分为前压控制和背压控制两种。
目前,托尔压力控制器标配一个压力传感器和数字电路板,提供高精度、快速稳定、可靠的压力控制,该EPC数字板具有控制压力所需的所有功能。除了配备标准的RS485输出信号,它还提供模拟量输入/出信号,可通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程。压力控制器可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀,具有超快和平稳控制的特性。
它的日常应用:
可广泛应用于半导体工艺,气相和液相色谱仪,MOCVD过程中蒸汽压力控制,挤塑成型过程中气体压力保护控制,高压釜/反应釜压力控制等。
托尔压力控制器的使用特点:
1、测量范围从10Pa到20MPA(绝压和表压皆可);
2、精确度高、重复性好,分为前压控制和背压控制两种;
3、标配一个压电膜片式压力传感器和数字电路板,提供高精度、稳定、可靠的压力测量和控制;
4、该基本数字EPC具有测量和控制所需的所有基本功能;
5、除了配备标准的RS485输出信号,还提供模拟I/O信号;
6、可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀,具有超快和平稳控制的特性。