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一、泄露检测及气密检测压力控制器EPCD 产品概述:
-- ACU20PCD双阀压力控制器集成两个电磁阀,进气阀将过程气体引入腔体,保持密闭空间的压力,压力过高时,泄压阀自行打开进行泄压,快速精准地控制压力的稳定,同时避免气体浪费。
-- ACU20PCD双阀压力控制器标配一个压力传感器和数字电路板,提供高精度、快速稳定、可靠的压力控制,该PC数字板具有控制压力所需的所有功能。除了配备标准的RS485输出信号,还提供模拟量输入/出信号,可通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程。同时,可触控显示屏使操作更加便捷。
-- ACU20PCD双阀压力控制器可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀,具有超快和平稳控制的特性。我们有不同系列的控制阀对应特定的应用领域。常规应用使用标准的直接操控阀,高流速应用使用先导阀,稳压和泄压应用双阀。
二、产品应用:
应用领域:半导体生产、科研实验、生物医药、能源化工、泄漏测试、燃料电池、真空镀膜及过程控制等。
三、泄露检测及气密检测压力控制器EPCD 产品参数:(如所需参数与下述性能参数不同,请沟通定制。)
技术参数 | 精度(包括线性和滞后性) | ≤±0.5%F.S | ||||
压力量程比 | 1:100 | |||||
重复性 | ≤0.1% | |||||
传感器响应时间 | 0.2s | |||||
控制稳定性 | ≤±0.05%F.S(测定条件:1 L/min N2) | |||||
运行温度 | -10~+70℃ | |||||
温度敏感性 | 0.1%FS/℃ | |||||
漏率 | 1×10-9 SCCS He | |||||
方位影响度 (90°变化) | <0.03 KPa(绝压/表压传感器) | |||||
<0.6 KPa(差压传感器) | ||||||
预热时间 | 忽略不计 | |||||
机械部件 | 材质 | 不锈钢 | ||||
工艺连接 | G3/8" | |||||
密封材质 | 氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/其他 | |||||
防护等级(外壳) | IP40 | |||||
电气特性 | 电源 | 15~24Vdc | ||||
数字输出 | RS485/RS232 MODBUS协议 等 | |||||
电气连接 | DB9 |
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