可自动补气高精度气体压力控制器EPC/压力计

简要描述：可自动补气高精度气体压力控制器EPC/压力计：
-- ACU20P系列压力控制器配备高性能传感器和数字电路板，可提供更高精度和性能的压力控制，
-- 通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程，除了标配的Modbus协议外，还支持Profibus协议。

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详细介绍

一、可自动补气高精度气体压力控制器EPC/压力计产品特点：

-- 标配一个压力传感器和数字电路板，提供高精度、快速稳定、可靠的压力控制，该PC数字板具有控制压力所需的所有功能。

-- 除了配备标准的RS485输出信号，ACU20PCD还提供模拟量输入/出信号，可通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程。

-- 可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀，具有超快和平稳控制的特性。

二、应用领域：

-- 半导体工艺，气相和液相色谱仪，MOCVD过程中蒸汽压力控制，挤塑成型过程中气体压力保护控制，高压釜/反应釜压力控制等。

三、可自动补气高精度气体压力控制器EPC/压力计产品参数：

（如所需性能与下述性能参数不同，请沟通定制。)

技术参数	精度(包括线性和滞后性)	≤±0.5%F.S
	压力量程比	压力计	1:100
		压力控制器	1:50
	重复性	≤0.1%
	传感器响应时间	0.2s
	控制稳定性	≤±0.05%F.S(测定条件：1 L/min N2)
	运行温度	-10~+70℃
	温度敏感性	0.1%FS/℃
	漏率	1×10-9 SCCS He
	方位影响度（90°变化）	＜0.03 KPa（绝压/表压传感器）
		＜0.6 KPa（差压传感器）
	预热时间	忽略不计

机械部件	材质	不锈钢
	工艺连接	G3/8"
	密封材质	氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/聚四氟乙烯/全氟/乙丙橡胶其他
	防护等级（外壳）	IP40

电气特性	电源	15~24Vdc
	数字输出	RS485/RS232、profibus协议、Devicenet协议等
	电气连接	DB9

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