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背景简述:
-- 半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊
材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。
一、ACU20FD-LH 半导体设备电子气体质量流量计及流量控制器 产品概述:
1、精度更高,响应更快,带网口;
2、管状分流,不易堵塞;
3、适用于各种低压和高压管道;
4、预热时间短,零漂小,可靠性高;
5、模拟量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量;
6、数字通讯RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等协议可选;
二、产品应用:
真空镀膜 / 太阳能、氢能等新能源 / 半导体 / 石油石化精细化工 / 电力冶金 / 环保
食品包装 / 生物医药 / 新材料 / 工业制作 / 各种分析仪器 / 制气配气系统
三、ACU20FD-LH 半导体设备电子气体质量流量计及流量控制器 产品参数:
量程范围:2SCCM~300SLM
准 确 度:±0.5%F.S
线 性:±0.5%F.S
重复精度:±0.2%F.S
响应时间:流量计:<0.1s;流量控制器:<0.2s
数 字 量:RS232/485,MODBUS协议 (Profibus、Devicenet等协议可选)
模 拟 量:0~5V、4-20mA、1~5V
供 电:±15VDC,24VDC
工作温度:0~50℃
工作压降:<0.01Mpa(流量计)
工作压差:0.1~0.5Mpa (流量控制器)
耐 压:3MPa/10MPa
漏 率:1×10-9SCCSHe
温度系数:±0.025%F.S/℃
底座材质:不锈钢
封材质:氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯,FFKM/FFPM,金属密封等
接 头:φ3,φ6,1/8",1/4",3/8",1/2"… …卡套、VCR等。。。
如果所需性能要求与上述性能不同,可以沟通定制。
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