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一、可显示压力及温度的质量流量计及控制器MFC 产品概述:
1、准确度±0.5%F.S,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定。
2、无需预热,测量时无响应滞后。
3、ACU20FC采用无热漂移,无响应滞后的差压质量测量原理,可以同时显示和输出:瞬时流量、累计流量、压力、温
度等。
二、可显示压力及温度的质量流量计及控制器MFC 产品参数:
(如所需参数性能与下述不符,请沟通定制)
技术指标 | 高精度质量流量控制器 | 高精度质量流量计 | |
量程范围 | 2SCCM~5000SLPM | ||
测控范围 | 控制器阀控范围50:1 | 流量计量程比100:1 | |
准确度 | ±0.5%F.S(满量程) | ||
线性 | ±0.5%F.S | ||
重复精度 | ±0.2%F.S | ||
稳定性 | <±0.1%FS | ||
响应时间 | <200ms | <100ms | |
温度系数 | ±0.025%F.S/℃ | ||
工作温度 | -10~60℃ | ||
预热时间 | 30S可用,5Min达到最佳状态 | ||
工作压力 | 工作压差:0.1~0.5Mpa | 工作压降<0.01Mpa | |
最大耐压 | 3MPa/10MPa | ||
漏率 | 1×10-9SCCSHe |
机械部件 | 底座材质 | 不锈钢 |
接头 | φ6,φ8,φ10,1/2"...快插、卡套、法兰安装等 | |
密封材质 | 氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶,乙丙橡胶等 | |
外壳防护等级 | IP40 | |
安装位置 | 水平安装、垂直(下进上出) |
电气性能 | 单色LED显示屏 | 同时显示流量、设定 |
电气连接 | DB15孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插 | |
显示状态 | 带液晶显示、不带液晶显示 | |
数字量 | RS232/485,MODBUS等协议 | |
模拟量 | 0~5V、4-20mA、1-5V | |
供电 | ±15VDC,24VDC,220VDC(转接) |
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