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一、ACU20FC 高精度层流压差气体质量流量控制器及流量计 产品概述:
1、准确度±0.5%F.S,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定。
2、无需预热,测量时无响应滞后。
3、采用无热漂移,无响应滞后的差压质量测量原理,同时显示和输出瞬时流量、累计流量、压力、温度等。
4、当需要控制功能时,还可以加装电磁比例调节阀和内置PID 调节功能。
二、ACU20FC 高精度层流压差气体质量流量控制器及流量计 产品参数:
(如所需参数性能与下述不符,请沟通定制)
技术指标 | 高精度质量流量控制器 | 高精度质量流量计 | |
满量程量程范围 | 2SCCM~6000SLM | ||
测控范围 | 控制器阀控范围50:1 | 流量计量程比100:1 | |
准确度 | ±0.5%F.S | ||
线性 | ±0.5%F.S | ||
重复精度 | ±0.2%F.S | ||
稳定性 | <±0.1%FS | ||
响应时间 | <0.2s | <0.1s | |
温度系数 | ±0.025%F.S/℃ | ||
工作温度 | 10~50℃ | ||
预热时间 | 30S可用,5Min达到最佳状态 | ||
工作压力 | 工作压差:0.1~0.5Mpa | 工作压降<0.01Mpa | |
最大耐压 | 3MPa/10MPa | ||
漏率 | 1×10-9SCCSHe | ||
机械部件 | 底座材质 | 不锈钢 | |
接头 | φ6,φ8,φ10,1/2"...快插、卡套、法兰安装等 | ||
密封材质 | 氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶,乙丙橡胶等 | ||
外壳防护等级 | IP40 | ||
安装位置 | 水平安装、垂直(下进上出) | ||
电气性能 | 单色LED显示屏 | 同时显示流量、设定 | |
电气连接 | DB15孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插 | ||
显示状态 | 带液晶显示、不带液晶显示 | ||
数字量 | RS232/485,MODBUS等协议 | ||
模拟量 | 0~5V、4-20mA、1-5V | ||
供电 | ±15VDC,24VDC |
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