当前位置:首页 > 产品中心 > 数控电子压力控制器EPC > 高精度单阀压力控制器 > ACU20PC-LH控制前压、背压的压力控制器、压力调节器
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一、ACU20P系列 控制前压、背压的压力控制器、压力调节器 产品特点:
-- 标配一个压力传感器和数字电路板,提供高精度、快速稳定、可靠的压力控制,该PC数字板具有控制压力所需的所有功能。
-- 除了配备标准的RS485输出信号,ACU20PCD还提供模拟量输入/出信号,可通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程。
-- 可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀,具有超快和平稳控制的特性。
二、应用领域:
-- 半导体工艺,气相和液相色谱仪,MOCVD过程中蒸汽压力控制,挤塑成型过程中气体压力保护控制,高压釜/反应釜压力控制等。
三、ACU20P系列 控制前压、背压的压力控制器、压力调节器 产品参数:
(如所需性能与下述性能参数不同,请沟通定制。)
技术参数 | 精度(包括线性和滞后性) | ≤±0.5%F.S;量程:(10Pa~20Mpa) | |||
压力量程比 | 压力计 | 1:100 | |||
压力控制器 | 1:50 | ||||
重复性 | ≤0.1% | ||||
传感器响应时间 | 0.2s | ||||
控制稳定性 | ≤±0.05%F.S(测定条件:1 L/min N2) | ||||
运行温度 | -10~+70℃ | ||||
温度敏感性 | 0.1%FS/℃ | ||||
漏率 | 1×10-9 SCCS He | ||||
方位影响度 (90°变化) | <0.03 KPa(绝压/表压传感器) | ||||
<0.6 KPa(差压传感器) | |||||
预热时间 | 忽略不计 | ||||
机械部件 | 材质 | 不锈钢 | |||
工艺连接 | G3/8" | ||||
密封材质 | 氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/聚四氟乙烯/全氟/乙丙橡胶其他 | ||||
防护等级(外壳) | IP40 | ||||
电气特性 | 电源 | 15~24Vdc | |||
数字输出 | RS485/RS232、Modbus、Profibus协议、Devicenet协议等 | ||||
电气连接 | DB9 |
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