当前位置:首页 > 产品中心 > 气体 质量流量计/控制器 > 全金属密封质量流量计/MFC > ACU20FD-LC-M耐腐蚀金属密封气体质量流量计及流量控制器
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一、耐腐蚀金属密封气体质量流量计及流量控制器 产品概述:
对于一些腐蚀性较高的气体,橡胶类密封无法满足现场应用要求,我司已开发出全金属密封的流量测控产品。同时,配备有高性能电磁比例控制阀,毫秒级快速响应,并且可满足在一定的压力条件下,稳定控制流量,确保良好的精度。
我们也可根据您的应用参数,为您定制PID调节功能,确保在保持低压损的同时实现快速、稳定的控制。
二、产品应用:
真空镀膜 / 太阳能、氢能等新能源 / 半导体 / 石油石化精细化工 / 电力冶金
环保 / 食品包装 / 生物医药 / 新材料 / 工业制作 / 各种分析仪器 / 制气配气系统
三、耐腐蚀金属密封气体质量流量计及流量控制器 产品参数:
满量程范围:2SCCM~30SLM
准 确 度:±0.5%F.S
线 性:±0.5%F.S
重复精度:±0.2%F.S
响应时间:流量控制器:<0.2s
数 字 量:RS232/485,MODBUS协议
模 拟 量:0~5V、4-20mA、1~5V
供 电:±15VDC,24VDC
工作温度:0~50℃
工作压差:0.05~0.3Mpa (流量控制器)
耐 压:3MPa/10MPa
漏 率:1×10-9SCCSHe
温度系数:±0.025%F.S/℃
底座材质:不锈钢
密封材质:金属密封
接 头:φ6,1/8",1/4",3/8",1/2",1"… …VCR连接
如果所需性能要求与上述性能不同,请另行沟通定制。
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