沉积设备用高温分体气体流量控制器及流量计

简要描述：沉积设备用高温分体气体流量控制器及流量计，采用定制的高速比例控制阀，可快速精确测量高温气体的质量流量，可以以质量单位或体积单位显示流量值，精度0.5%FS。

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一、产品概述： 沉积设备用高温分体气体流量控制器及流量计

u 可快速精确测量高温气体的体积流量/质量流量

u 采用定制的高速比例控制阀对介质体积流量/质量流量进行精确控制

u 超大可触显示屏，操作方便同时开放模拟输入输出和RS-485数字通讯

u 内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装方向不敏感

u 采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下流体仍旧保持层流运动

u 提供用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。

二、产品应用：

-- 已广泛应用于沉积工艺领域，如陶瓷工艺、半导体、光纤等行业使用高温气体的沉积设备。

-- 多变量测量以及50:1量程可调比，使得仅用一台热式高温分体气体质量流量控制器及流量计便可取代多台设备的功效。

-- 精度0.5%FS、重复性0.5%及不到200毫秒的控制响应时间，确保高温的过程气体可以流畅的工作。

三、技术参数：沉积设备用高温分体气体流量控制器及流量计

技术指标	质量流量控制器		质量流量计
	量程范围	2SCCM~300SLM
	精度 (调零后标准条件下)	±0.5%F·S（满量程）
	重复精度	±0.5%F·S
	流量控制比 /测量范围	2%~100%F·S/50：1	1%~100%F·S/100：1
	工作温度	过流部分：（90~150℃），控制部分：0~70℃
	漏率	＜2×10-9 Pa m³/S
机械部件	最大工作压力	3 MPa / 10MPa
	密封材质	氟橡胶、全氟醚、金属密封
	防护等级	IP40
	底座材质	不锈钢
	气路接头	φ6，φ8，φ10，φ12，卡套、VCR等
电气性能	单色LCD显示屏	同时显示实时流量、设定流量
	数字通讯	可选：RS232/485，Modbus协议、Profibus协议、DeviceNet协议
	模拟输入输出信号	0~5VDC/4~20mA
	电信号接口	B9孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插
	供电电压	±15VDC，24VDC

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