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一、热式气体质量流量控制器MFC 产品概述：
1、精度更高，响应更快，带网口；
2、管状分流，不易堵塞；
3、适用于各种低压和高压管道；
4、预热时间短，零漂小，可靠性高；
5、模拟量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量；
6、数字通讯RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等协议可选；
二、产品应用：
真空镀膜 / 太阳能、氢能等新能源 / 半导体 / 石油石化精细化工 / 电力冶金
环保 / 食品包装 / 生物医药 / 新材料 / 工业制作 / 各种分析仪器 / 制气配气系统
三、热式气体质量流量控制器MFC 产品参数：
满量程范围：2SCCM～6000SLM
准 确 度：±0.5%F.S
线 性：±0.5%F.S
重复精度：±0.2%F.S
响应时间：流量计：＜0.1s； 流量控制器：<0.2s
数 字 量：RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量：0～5V、4-20mA、1～5V
供 电：±15VDC，24VDC
工作温度：0～50℃
工作压降：<0.01Mpa(流量计）
工作压差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）
耐 压：3MPa/10MPa
漏 率：1×10-9SCCSHe
温度系数：±0.025%F.S/℃
底座材质：不锈钢
密封材质：氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯，FFKM/FFPM等
接 头：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法兰、快插、宝塔等。。。
如果所需性能要求与上述性能不同，可以沟通定制。
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